Нижегородские ученые создают литограф для микроэлектронного производства
На форуме «Микроэлектроника 2022» уже презентовали демоверсию установки, изготовленную в ИПФ РАН в Нижнем.
Литограф — миниатюрный «рисунок» на кремниевой основе, который является важнейшей частью чипа (микроскопического внутреннего элемента процессора).
Нижегородская разработка основана на рентгеновском источнике излучения. Уже сейчас источник излучения в нашей модели в разы компактнее и чище в работе, чем у ведущего производителя из Нидерландов — ASML. Эффективность готовой нижегородской установки должна превзойти качество голландской в 1,5‑2 раза. Оптическая система демонстратора также превосходит все существующие